佛山洁净车间防静电接地
在无尘车间生产过程中,静电所造成的危害是多方面的。首先,由于静电吸附作用,尘粒会吸附在器件和整机表面,影响产品质量,造成故障;其次,电晕放电的能量对微电子设备会造成干扰;另外,当静电严重时可能会引起火花放电,并可能成为易燃易爆气体、液体或粉尘及其混合物的引火源或导致爆炸。
为了消除静电所产生的危害,必须采取一些措施。消除静电的方法很多,接地是消除静电较普遍、经济、简便、可靠的办法。在佛山洁净车间中,对所有会产生静电的设备都应保证可靠接地。静电接地方式主要有硬接地和软接地。硬接地是指直接与大地电极作为导电性连接,软接地则是通过一个限流电阻连接到大地电极,以限制流过人体的电流不超过5mA安全值。
佛山洁净车间的静电接地一般有以下3种类型:
A.直接接地。将金属导体直接与大地进行电气连接,使金属导体的静电电位接近或等于大地的电位。
B.间接接地。静电压导体通过与表面全部或部分紧密接触的金属导体与大地进行电气连接。
C.跨接接地。两个或两个以上相互绝缘的金属导体进行导电性电气连接,以建立一个供电流流动的低阻抗通路,然后再进行接地。防静电接地系统根据不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。铜排截面积不应小于100mm2,防静电接地引线应从等电位的接地网格或闭合铜排环上就近接地连接。接地引线应使用多股铜线,导线截面不应小于1.5mm2。防静电接地系统在接入大地前应设置等电位的防静电接地基准板,从基准板上引出接地主干线,其铜导体截面积不应小于95mm,并采用绝缘屏蔽电缆。接地主干线应与设置在防静电区域内的接地网格或闭合铜排环连接。在主要生产场合采用防静电地坪,在地坪敷设完毕后,将防静电地坪内的金属线与防静电地坪所在空间的建筑柱上预留的接地端子相连。另外,接地端子须通过柱内主筋与接地极连通,以使静电通过接地端子沿柱内主筋流向接地极。
佛山洁净车间内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则,其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。静电控制中的接地设计应以建筑物防雷接地为基础,各类功能接地系统包括静电屏蔽接地应处于防雷接地的保护空间,也就是必须作等电位联结。各类功能接地系统应自成系统且相互间不应混接。静电屏蔽接地系统的低阻抗电气通路应小于0.1Ψ。直流工作接地低阻抗电气通路应小于0.02Ψ。
接地装置的设计按GBJ50057—1994《建筑物防雷设计规范》和GJB/Z25—1991《电子设备和设施的接地掺接和屏蔽设计指南》的有关规定执行。当选择联合接地方式时,接地电阻值应小于0.5Ψ。接地电阻值越小越好,因为当有电流流过接地电阻时,其上将产生电压,该电压除产生共地阻抗的电磁干扰外,还会使设备受到反击过电压的影响,并使人员受到电击伤害的威胁。